真空等離子清洗機產品參數表：

真空等離子清洗機產品特點：

進口不銹鋼316材質真空腔體：軍工級別密封，避免氣體泄露，又實現高效卓越的真空度，為等離子體創造極佳的反應條件。

自主研發等離子體控制系統: 可根據腔體環境精準控制等離子體發生時間和反應強度，可進行多步工藝流程處理，采用歐姆龍、施耐德等進口品牌電器元件, 有手動、自動兩種控制模式，10.7”真彩觸摸屏，可編程控制器，可在線設定、修改、監控真空壓力、處理時間、氣體流量、等離子功率等工藝參數，并具有故障報警、工藝存儲、密碼鎖定、系統維護等多種功能。

高精度氣體流量監測系統，兩路工藝氣體配置(氬氣、氧氣），雙路氣流控制，比例可調，采用高精度電子質量流量計及閥件。

強大的全面安全防護系統：溫度安全防護功能，過載防護功能，短路斷路報警防護功能，非法操作提示、清潔結束提示，各種誤操作保護功能等。

處理全程無污染 ，等離子清洗機本身是很環保的設備，無產生任何污染，處理過程也無產生任何污染?？梢耘c原有生產流水線搭配，實現全自動在線生產，節約人力成本。

真空等離子清洗機工作原理：

真空等離子清洗機產生等離子體的裝置是在密封容器中設置兩個電極形成電場，用真空泵實現一定的真空度，隨著氣體愈來愈稀薄，分子間距及分子或離子的自由運動距離也愈來愈長，受電場作用，它們發生碰撞而形成等離子體，這些離子的活性很高，其能量足以破壞幾乎所有的化學鍵，在任何暴露的表面引起化學反應，不同氣體的等離子體具有不同的化學性能，如氧氣的等離子體具有很高的氧化性，能氧化光刻膠反應生成氣體，從而達到清洗的效果；腐蝕性氣體的等離子體具有很好的各向異性，這樣就能滿足刻蝕的需要。利用等離子處理時會發出輝光，故稱之為輝光放電處理。

等離子體主要是通過氣體放電產生,其中包含電子、離子、自由基以及紫外線等高能量物質,具有活化材料表面的作用。例如,電子質量小、移動速度快,可以先一步到達材料表面并使其帶有負電荷,同時對材料表面產生撞擊作用,可促使表面吸附的氣體分子解吸或分解,也有利于引發化學反應;材料表面帶有負電荷時,帶正電荷的離子會加速向其沖擊,所產生的濺射作用會將表面附著的顆粒性物質除去;等離子體中自由基的存在對清洗作用具有非常重要的意義,由于自由基易與物體表面發生化學連鎖反應,產生新的自由基或進一步分解,最后可能會分解成揮發性的小分子;而紫外線具有很強的光能和穿透能力,可透過材料表面深達數微米而產生作用,使表面附著物質的分子鍵斷裂分解。

售后服務：

響應迅速在，廣東，四川，湖南，河南，江蘇等地均有售后服務點，為用戶免費提供真空等離子清洗機的上門安裝及調試服務，保證設備正常運行，提供壹年質保服務，質保期免費維修。